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FSEM A200喷金仪
FSEM A200喷金仪
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FSEM A200喷金仪

 详情说明
应用简介

如果要用扫描电镜(SEM)或透射电镜(TEM)获得高质量的样本成像,样本需要具有导电性,以避免电荷聚积。如果样本没有足够高的导电性,您可以用溅射镀膜法快速为其镀上导电层。 还可以使用碳蒸镀或电子束蒸镀方法。 这类镀膜既可以保护样本,增强电子显微成像的对比度,又可以作为小规模样本的透射电镜载网支撑膜。

设备概述

FSEM系列喷金仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统,从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时,紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。FSEM系列喷金仪为全闭环真空设计,配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态,保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵,快速获得<1Pa的真空环境,高精度的溅射电源采用恒流控制,镀膜更纯,膜厚更精准,结果重复性更好。

产品特点

◇ 设计美观,操作简单,界面友好、一键镀膜

◇ 可直接放置12个标准钉型样品台,无需工作人员介入,节省人力和时间

◇ 采用ARM架构,全自动控制,控制精度高,操作简单

◇ 低电压,稳定真空环境,可溅射多种常用金属金、铂、钯、银等

◇ 溅射颗粒可达纳米级别,溅射颗粒<5nm制备薄膜致密,适合高分辨SEM使用

◇ 采用磁控溅射技术,利用平面磁场减少温度的变化,适用于温度敏感样品

◇ 配有多个传感器实时监控运行状态,保证仪器使用安全

◇ 长期运行,稳定可靠,无需特殊维护

◇ 具备开关机数据存储记忆,修复长期应用偏差

◇ 仪器可全自动控制,更方便用户实现各种自动化控制操作

◇ 软件遵循GMP规范,方便实现用户管理,使用记录等功能

技术参数
设备型号 FSEM A200
溅射类型 低压磁控平面溅射
靶材尺寸 直径50mm,最优靶材利用率
控制模式 5寸触摸屏全自动程序控制
真空系统 机械旋叶泵,极限真空<1Pa真空抽速1L/s
真空测量 全量程皮拉尼数字真空计
工作真空 2-8Pa,真空精度可达0.1Pa
样品台 可升降,可放置12个标准钉型台,直径可达65mm
溅射电源 恒流磁控DC溅射电源300-600V,Max50mA控制精度可达1mA
溅射时间 ≤600s,控制精度1s
真空腔室 φ130×100mm
供电要求 200-240VAC 50Hz,功率500W
外形尺寸 420×260×280mm
软件界面
配置清单
序号 名称 规格 数量
1. 喷金仪主机 FSEM A200 1台
2. 铂金靶材 φ50×0.1mm 1个
3. 真空管路 KF16-1.2m 1根
4. 机械真空泵 VRD-4 1台
5. 合格证、保修卡、说明书、装箱单 / 1套